硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物總稱，包含甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物，硅烷廢氣的處理采用點燃+洗滌法凈化硅烷汽體，系統(tǒng)中包括：硅烷廢氣燃燒設備+濾筒除塵器+洗滌塔。主要用于單晶硅、多晶硅領域生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷廢氣的處理。以下是廢氣治理廠家分享。

　　徐州鑫源環(huán)保機械有限公司分享工作原理是硅烷與輸入空氣壓縮或新風補氣口補入空氣觸碰而起火或發(fā)生氧化反應，反映后形成大量二氧化硅粉塵；氨氣采用凈化塔噴灑吸收產(chǎn)生氨水。內(nèi)部燃燒倉采用特殊泄壓裝置，即便在內(nèi)部壓力忽然擴大的情形下仍能正常運轉，同時配置了N2通道，更為變大設備安全性。

　　在粉塵搜集層面采用負壓沉積的辦法，沉積下來的粉塵根據(jù)清渣口排出，這使粉塵搜集解決變得更容易、更高效，后面工藝還配套了濾筒除塵技術，進一步清除氧化硅粉塵，提高粉塵的治理效率。

　　主要應用于太陽能、光伏行業(yè)、半導體業(yè)及CVD化學氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

　　鑫源環(huán)保致力于工業(yè)廢氣治理、VOC廢氣治理、焊接煙塵凈化、工業(yè)粉塵處理、除臭等環(huán)境污染治理工程及處理設備的研發(fā)設計。公司注重技術創(chuàng)新，以高質(zhì)量的設備、先進的技術、更優(yōu)的方案、專業(yè)的施工及良好的技術支持為廣大客戶提供的服務。公司秉承“廣納高科技人才，依托高科技，追求高質(zhì)量”的宗旨；不斷地進行工業(yè)環(huán)境治理技術、VOC有機廢氣處理的創(chuàng)新與研發(fā)，始終站在科學治理環(huán)境的技術前沿。公司擁有一支專業(yè)、技術過硬的服務團隊，面對員工，我們倡導”以人為本“的企業(yè)文化，為企業(yè)的每一個員工創(chuàng)造良好的工作、生活環(huán)境，每一個人的才華都能在這里得到體現(xiàn)；面對客戶的需求和利益，我們將以全心全意的精神，竭誠提供合適的產(chǎn)品、服務和解決方案。